1.外觀
2.過濾器完整性
3.下降氣流速度
4.流入氣流速度
5.氣流模式
6.壓差
7.照度
8.噪聲
包括層流罩、采樣車、隔離器等局部凈化設備/裝置
1.檢漏
2.風速、風速均勻率
3.潔凈度
4.照度
5.噪聲
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